本專業(yè)的研究領域主要有微傳感器、微加速度計、微陀螺和微慣導系統(tǒng)、微光學器件、微測量技術等。

微機電工程材料、微機電器件與系統(tǒng)、微機械學、微納米測量與測試技術、微細加工技術、現(xiàn)代傳感技術、精密工程制造基礎和光存儲技術等。

包括主要課程實習、設計（畢業(yè)論文）等。

本專業(yè)主要培養(yǎng)從事微機電系統(tǒng)工程方面的設計制造，生產(chǎn)運行?科技開發(fā)和技術經(jīng)濟管理方面的人才。

本專業(yè)學生主要學習微機電系統(tǒng)工程的基本知識、基礎理論和研究方法；了解微機電系統(tǒng)工程發(fā)展方向；具有從事實際工作的基本能力。

1.掌握微機電系統(tǒng)工程的基本知識和基本理論；
2.了解微機電系統(tǒng)工程的發(fā)展方向；
3.掌握微機電系統(tǒng)工程基礎理論和研究方法；
4.具有實際工作的基本能力；
5.熟練掌握一門外國語，具有交流溝通的能力；
6.具有一定的歸納、整理、分析、設計、撰寫論文的基本能力、進行學術交流的能力、較強的創(chuàng)新意識和創(chuàng)新精神。